严正行深吸一口气,仿佛要將这两个月积攒的所有压力和期待都压入胸腔。
他死死盯著控制台,手指在键盘上敲下了一连串指令。
“启动预热程序。”
嗡……
控制台下方的巨大样机內部传来低沉的运转声,一头沉睡的钢铁巨兽被唤醒了!
散热系统启动,轻微的冷风从通风口溢出。
观测窗外的超净间里,人们看到那台二十多米长的样机开始活了过来。
各种指示灯光次第亮起,如同星辰点亮。
“能量注入准备就绪。”
陈进一表情显得有些紧张。
“启动光源激发。”
严正行的手指悬停在回车键上方,停顿了半秒,然后重重敲下!
嗡——!
一声远比预热时更浑厚,仿佛直接敲击在心臟上的嗡鸣声骤然响起!
观测窗甚至能感受到微微的震动。
紧接著,所有人的目光都被样机的心臟部位吸引过去。
那里,一个被多层防护和复杂管道包围的中心区域,一道光骤然亮起!
那不是常见的炽白或淡蓝光,它呈现出一种深邃而纯粹的极紫外色彩。
介於幽紫与深蓝之间,带著一种非自然的冰冷质感。
它的亮度並不刺眼,却异常凝聚,如同实质的光束被牢牢约束在特定的路径之中。
“波长稳定……13。4纳米!误差低於0。01!”
在钢铁的轰鸣声中,陈进一大声呼喊,声音因为激动而劈叉。
“能量输出稳定!转化效率31。7%!天啊!”
旁边一个年轻的技术员看著仪錶盘,失声惊呼。
31。7%!
这个数字如同惊雷在控制室里炸开!
所有人都知道这意味著什么。
意味著这台简陋样机的光源系统,在效率上已经实现了对全世界所有光源系统碾压式的超越!
它彻底粉碎了现有的物理和工程极限!
那束深邃的极紫外光持续稳定地输出著,如同永不疲倦的心臟,为整个光刻系统提供著澎湃而纯净的画笔!
“开始曝光测试!”
严正行没有沉浸在光源启动成功的狂喜中,他的目標更远。
指令下达。
样机內部,精密的光学组件开始工作。
那束凝聚的极紫外光被引导、分束、投射。
承载著电路图案的掩模板被精准定位。
下方,一片预先处理好的硅晶圆静静地等待著命运的刻画。